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跟蹤分析 – SIMS、ToFSIMS 和 ICPMS

跟蹤分析使我們能檢測到極低濃度中的雜質,並能在品質控制程式中發揮至關重要的作用。 因為在半導體器件生產中,即使非常微量的污染物也能降低產量,甚至導致故障,所以跟蹤分析至關重要。

SGS 的跟蹤分析作為品質控制製造的基本組成部分,能提供值得信賴的專業服務。 我們經驗豐富的員工使用高性能設備來精確跟蹤可能引起產品故障或降低可靠性的雜質。 我們透過以下方法執行高敏感測試程式:

  • 二次離子質譜法 (SIMS) – 確定極低濃度中的雜質 
  • 飛行時間二次離子質譜法 (ToF–SIMS) – 探測表面雜質
  • 以氣相分解 (VPD) 或包提取方法 (PEM) 為支撐的電感耦合等離子體質譜法 (ICPMS) – 對眾多元素高度敏感

聯繫 SGS,瞭解我們的跟蹤分析如何提高產品品質和可靠性。

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